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UV紫外线光解和等离子技术是现今应用于有机废气降解最常用的两种方法。采用这两种办法，都能将废气中的有机成份，分解为无害的水及二氧化碳，并预防了二次污染。但这两种方法，仍各有优缺点。
UV光解是利用特殊的低压紫外灯管能同时发射出185nm紫外线和254nm紫外线的双光谱特性。灯管发射出的185nm紫外线，能触发空气中的O2（氧），转化为O3（臭氧）。臭氧具有很强的氧化能力，其与废气中的碳氢化合物（如苯类、烃类、醇类、脂类等）充分混合接触后，在灯管发射出的254nm紫外线的照射催化条件下，能将这些有害污染物，直接氧化分解为水和二氧化碳。由此可见，紫外灯管发射出的185nm紫外线，起到了提供氧化反应物的作用；而灯管发射出的254nm紫外线，起到了提供光解反应顺利进行的必要反应条件的作用。但紫外灯管的臭氧产生能力较低，如现在使用最为普遍的150W U形臭氧紫外线灯管，在氧气充足的条件下，每小时的臭氧产生量约为900mg左右，即其单位功率每小时的臭氧产生量仅为6mg/w。而臭氧作为光解反应中的一种主要的反应物质，其产生量的多少，直接影响着处理效果的好坏。
等离子技术，是利用高压的电场，使空气中的O2电离产生O3，其臭氧产生效率要比紫外灯管高很多。如佛山君睿光电公司生产的60W石英真空等离子管，其每小时的臭氧产生量约为6000mg左右，即其单位功率每小时的臭氧产生量为100mg/w，是紫外灯管单位功率臭氧产生量的16倍。 但等离子管几乎不发射出紫外线。缺少了紫外线的催化作用，在单纯采用等离子工艺的废气处理装置中，臭氧与有机废气的反应变得缓慢困难，同样制约了设备的处理效能。
因此，我们尝试将这两种处理方案结合起来。将等离子装置布置在光解设备的前段，离子装置产生的O3与有机废气混合后，流经紫外线灯管。紫外线灯管能进一步地触发O3的生成，同时在灯管254nm紫外线的催化作用下，O3与有机物的反应效能大幅提升，从而取得理想的处理效果。由于等离子装置较紫外灯管高得多的臭氧产生效能，使得设备的功耗随之降低，节能效果显著。
现有等离子技术常见的有非真空型及真空型两类。
非真空型等离子发生器主要为板式和蜂窝式两种，它们所需的工作电压很高，约1.5~1.8万伏，因而对系统的绝缘要求很高。且工作过程中产生的电弧较大，且直接暴露在空气中，当应用于含有易燃性气体的废气处理工艺中时，存在很大的火灾隐患。
而现有的真空型等离子管都是使用软料玻璃制作，其优点是：1、所需的工作电压大幅降低，约为2-3千伏，因而对系统的绝缘要求大幅降低，由高压电火花引燃易燃气体的可能性也随之降低；2、所产生的电弧绝大部分被封闭于真空管内，更使得引起火灾的可能性大幅下降。但其缺点是软料玻璃在工作环境温度变化较大的条件下，很容易产生裂纹，而使管内的真空条件遭到破坏，使其无法继续工作。其稳定性能很差，寿命短，限制了它在生产中的实际应用。
佛山市君睿光电科技公司新研制的石英真空等离子管（专利号：ZL213715339029.4），以石英作为管壁材料，除具备现在普通玻璃真空型等离子管的优点外，因其石英管壁具有极强的抗温度变化而不破裂的性能，并采用不锈钢网代替原来的铝网，使得这种新型的等离子管能耐受更严酷的工作环境，延长了其使用寿命，保证了工作的稳定性。同时由于管壁不易破裂，也消除了由于管壁破裂，电弧外泄而形成的火灾隐患，使用更加安全。专门设计配套的等离子电源，也使得离子管的性能得到提升，臭氧产生率有了可靠的保障。
新设计的管头使用硅胶材料制作，较现玻璃等离子管经常采用的塑料管头，具有更好的耐腐蚀性能。管头上的法兰结构设计，使得安装也更为方便。
新的石英等离子管的密封，使用工字形夹封结构，而不是现今软料玻璃工艺中采用的环封结构，使得结构更加坚固，不易破碎。
离子管的长度被设计为81CM，与150W的U形光解灯管等长，因而可被方便地设计安装到现有的光解设备中。
我们一般建议可将原光解设备中紫外灯管数量的15%-20%，以一只60W石英真空等离子管替代2只150W臭氧紫外线灯管的比例进行替换。如原使用100只150W臭氧灯管的光解系统，我们建议可将其中的20只臭氧灯管，以10只60W等离子管替代。这样系统的总功率将由原来的约18000W（灯管功率150W+镇流器功耗30W），降为15060W（离子管功率60W+电源功耗6W），而系统的臭氧产生量却将由原来的90000mg/h，提升为132000mg/h。这样系统的能耗将降低约20%，而臭氧产生量反提升约45%。可见既提升了处理的效果，又能节约能源，同时也降低了设备造价。